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离子真空泵检漏知识
发布时间:2014-10-14 浏览:3586 次

         离子泵检漏法的基本原理与电离真空计检漏法类似,是利用示漏气体进入离子泵时,泵电流将发生变化的特性进行工作的,根据这种变化,可检测出真空系统的漏孔,并可估算漏孔的大小。

  在使用带有离子泵的抽气系统,或把被检件接到离子泵抽气系统上去时,人们可以在任何时间、在压力低于10-2 Pa的条件下,对系统或被检件进行检漏。

  这种检漏方法无须额外仪器,既灵敏又简便。其示漏气体可选用氧、氩、氢等。

  检漏装置如图离子泵检漏装置示意图所示。首先将离子泵抽空,抽到较低压力后关闭阀门2,使离子泵保持在较低压力下工作。接入被检件,用前置泵排气,当真空度达到1~10-1 Pa时,关闭阀门4并打开阀门2,用离子泵抽气。

  当达到平衡压力后,用示漏气体(如Ar)喷吹可疑有漏孔处,如喷吹到漏孔处时,示漏气体就会进人系统,使离子泵的放电电流指示迅速上升,这是因为泵对氩气抽速较低的缘故。

  当用氢或氧来检漏时,将会引起泵电流的下降,因为离子泵对这些气体的抽速比对空气的抽速大。

  这种方法的灵敏度为10-4~10-9Pa·m3·S-1。根据漏孔的大小,可以调节阀门2和4的开启程度实现其检漏效能。检漏时须注意其灵敏度与压力成反比,因此应尽量在较低的平衡压力下进行检漏;示漏气体最好经过净化处理。

  该方法与氦质谱检漏仪相比较具有以下特点:

  ①造价低,结构简单,用一般无油系统即可;

  ②不存在烧断灯丝的问题;

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